渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。優(yōu)點是啟動快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無氣體存儲和解吸效應(yīng)，無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。

　　是由動葉輪與靜葉輪組合而成，比擴(kuò)散泵節(jié)能、無油蒸汽污染，同時具有分子流時抽速大、壓縮比高的特點，是目前國內(nèi)大抽速的分子泵，動葉輪采用變截面加工，其強(qiáng)度增加重量減少，使分子泵性能更可靠、穩(wěn)定。

　　渦輪分子泵的工作原理：主要有立式和臥式兩種。

　　動葉輪外緣的線速度高達(dá)氣體分子熱運(yùn)動的速度（一般為150～400米/秒）。單個葉輪的壓縮比很小，渦輪分子泵要由十多個動葉輪和靜葉輪組成。動葉輪和靜葉輪交替排列。動、靜葉輪幾何尺寸基本相同,但葉片傾斜角相反。右圖為20個動葉輪組成的整體式轉(zhuǎn)子。每兩個動葉輪之間裝一個靜葉輪。靜葉輪外緣用環(huán)固定并使動、靜葉輪間保持1毫米左右的間隙,動葉輪可在靜葉輪間自由旋轉(zhuǎn)。

　　渦輪分子泵的特點：

　　1、抽速大、無油、啟動快、無油污染、維護(hù)簡單

　　2、工作范圍:清潔的低真空~中、高真空，大氣~超高真空

　　3、極限真空:10/10torr